宜昌气体质量流量控制器

闭环控制气体供给

气体质量流量控制器集气体质量流量测量与比例调节于一体，可根据设定值对气体供给进行闭环控制，适用于半导体工艺、薄膜沉积、燃烧测试、化学反应、实验室混气和设备气路配套。产品可按气体介质、满量程流量、工作压力、控制响应及通信协议进行选型，支持多路气体配比和自动化控制系统集成。